Purificador/Sistema de purificación/Generador de gas de ultra alta pureza

Áreas de aplicación: semiconductores electrónicos, circuitos integrados a gran escala, MAMS, silicio monocristalino, silicio policristalino y epitaxia de silicio, LED, TFT, nitruro de galio, carburo de silicio, investigación y desarrollo científico, análisis experimental, etc.

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Características

● Dos torres alternan regeneración por adsorción, funcionamiento continuo automático.
● Accesorios de tubería de acero inoxidable pulido clase EP 316L.
● Tasa de eliminación de hasta 99,9999999 % con filtro de 0,003 µm.
● El PLC Siemens se puede conectar al sistema DCS.
● La función de alarma de seguridad es perfecta.
● El servicio de nube remota está disponible.
● Producción y montaje en un entorno súper limpio.
● Capacidad de gas 10-20000nm3/h.

Parámetros de la tabla

Modelos de serie

Para gas

Índice de gas crudo

Índice de gas del producto

norte2

EL2

Con

Él

EL2

H2EL

CO2

CH4

norte2

Granularidad

9VV

●

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

—

0,003 mmetro

9OVV

●

—

●

≤0,1 ppb

—

0,003 mmetro

9VVX

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mmetro

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mmetro

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mmetro

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mmetro

Nota: Especificaciones de flujo comunes:1-20000 Nm3/h;Presión comúnmente utilizada:1-20 Mpa

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